產品名稱:VH13 系列金屬密封壓電促動器
產品型號:
產品特點:VH13 系列金屬密封壓電促動器可實現一維 Z 向位移,有 42μm、46μm 兩種行程可選。由于與大氣絕緣,受環(huán)境濕度的影響要小得多。具有更長的使用壽命和更高性能,適用于需要高可靠性的半導體器件制造設備和光通信設備等各種應用中使用。
更新日期:2025-02-24
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